미국의 화학소재 기업 '듀폰(DuPont)'사가 EUV용 포토레지스트 개발·생산시설을 충남 천안에 구축키로 하면서 '소재·부품·장비' 탈일본화가 탄력받을 전망이다.

산업통상자원부는 듀폰이 성윤모 산업부 장관과 8일(미국 현지시간) 저녁 별도로 만난 자리에서 이 같은 내용이 담긴 투자신고서를 대한무역투자진흥공사(KOTRA)에 제출했다고 9일 밝혔다.

산업부는 현재 미국 실리콘밸리에서 한국 투자에 관심을 가지고 있는 미국 투자가들을 대상으로 대한 투자유치활동을 추진하고 있다.

이번 투자계획에 따르면 듀폰은 충남 천안에 EUV용 포토레지스트 개발·생산, CMP패드 생산 시설을 만든다. 2021년까지 2800만달러(약 325억원)를 투자한다.

EUV용 포토레지스트는 반도체 웨이퍼(기판) 위에 패턴을 형성하는 공정에 사용되는 감광성 재료다.

CMP패드는 반도체 웨이퍼 표면을 화학적·기계적 방법으로 연마해 평탄화하는 과정에 사용된다.

일본 정부는 지난해 7월 반도체 핵심소재인 EUV용 포토레지스트와 불화수소, 플루오린 폴리이미드의 한국 수출을 규제했다.

이번 투자유치를 통해 현재 주로 일본에 의존하고 있는 EUV용 포토레지스트 공급선을 미국 유럽연합(EU) 등으로 다변화 할 수 있을 거란 기대다.

성 장관은 "최근 일본 정부의 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가 허용이 있었지만 근본 해결방안은 아니다"며 "핵심 소재·부품·장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것"이라고 했다.