네덜란드의 글로벌 반도체 장비 기업 ASML가 경기도 화성에 재제조 및 트레이닝 센터를 갖춘 뉴캠퍼스 착공을 시작한다고 15일 밝혔다. 부지는 16,000㎡ 규모로, 5년간 2400억 원을 투자한다.

글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4대 기업이 모두 한국에 R&D센터 등의 투자를 확대하는 등 국내 반도체 업계의 기술 경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

오는 16일 경기도 화성에서 열리는 기공식에는 피터 베닝크 ASML CEO와 문동민 산업부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 수요기업 등 관계자 160여 명이 참석한다.

ASML은 웨이퍼에 설계된 회로패턴을 그리는 장비인 노광장비를 생산하는 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업으로, 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 '슈퍼을'로 불린다.

이재용 삼성전자 회장도 지난 6월 네덜란드 ASML 본사를 방문해 협력방안을 논의한 바 있다.

ASML은 이번 화성 뉴 캠퍼스를 통해 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립한다는 계획이다.

산업부는 "해당 시설의 한국 유치를 위해 지난 20년부터 경기도, 화성시, KOTRA 등과 함께 ASML과 긴밀히 협력해왔다"며, "최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 발표 등 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제를 지속 완화했다"고 밝혔다.

이번 투자를 계기로 글로벌 반도체 장비업체에서 높은 위상을 차지하는 ASML과 국내 반도체 기업과의 협력이 긴밀해지고, EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것이란 평가다.

문 실장은 "국내 첨단 반도체 클러스터 중 하나인 ASML 화성 캠퍼스가 첫 삽을 뜨게 되어 기쁘다"며, "재제조센터와 트레이닝 센터 이상의 후속적 투자를 한국으로 유치하기 위해 필요한 지원을 다할 것"이라고 말했다.