SK머터리얼즈가 최근 순도 99.999% 불화수소 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 일본 수출 규제 1년 만에 거둔 반도체 소재 국산화 성과다.

초고순도 불화수소 가스는 지난해 일본이 한국을 상대로 수출규제한 3가지 품목 가운데 하나로 반도체 공정의 필수 소재다.

SK머터리얼즈는 지난해 말 시제품 개발에 성공했고 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행했다.

이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율 70%가까지 끌어올리는게 목표다. SK머터리얼즈는 또 해외의존도가 90%에 달하는 불화아르곤 포토레지스트 개발에도 나섰다. / 오현주 기자